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废气处理生产流程针对充电电池车间离子注入、制绒工艺流程造成的废气关键污染源为NOx和HF汽体;硅料处理车间酸泡浸工艺流程关键的废气污染物质为NOx，处理生产流程如下所示：充电电池车间175MW蔓延工艺流程造成的废气······
目前，VOCs催化燃烧是电子厂的环保设备。大多数电子企业安装普通废气处理设备，如喷淋塔、光氧催化设备等单一环保设备。其废气处理效率低（净化率仅为30%左右），且能耗高、占地面积大、后期维护麻烦。催化燃烧设备是······
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